我国出产光刻机的上市公司（光刻机仅有上市公司）

  5、雅克科技：2019年净利润2.53亿元，同比增90.64%；公司并购华飞电子、江苏先科、成都科美特并建立雅克福瑞整合电子特气等半导体资料职业资源，打造综合性半导体资料渠道。 。

  6、成功精细：公司参股的科华微电子是国内具有并正常运用荷兰ASML光刻机的光刻胶公司。

  7、上海新阳：发布了重要的公告，公司此前购买的ASML-1400光刻机等中心设备已进入合作方北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司场所，后续将来装置调试等相关作业。 。

  南大光电：估计2020年完成净利润8300万元~9100万元，同比增加50.88%~65.42%；参股公司北京科华开发的248nm光刻胶现在已经过包含中芯世界在内的部分客户的认证；公司193nmArF光刻胶开发项目已达到“02专项”各项目标，ArF光刻胶归于高端光刻胶，是集成电路制作最为要害的根底资料之一。 。

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