EUV光刻的三大中心技能日本把握2项荷兰把握1项

  EUV光刻机、EUV掩模和EUV光刻胶,这三项是分隔的,不是整合在一起的。

  ASML把握的这一项,很简略,便是EUV光刻机,究竟现在全球也只要ASML能制作出EUV光刻机来,EUV光刻机是荷兰ASML的独家生意。

  而日本把握了EUV掩膜、EUV光刻胶。关于EUV光刻胶,大多数人应该常常听说了,日本也是全球仅有可以出产的,和荷兰的EUV光刻机相同,拿下了全球100%的市场比例。

  EUV掩膜是什么呢?EUV掩膜是什么呢?它是芯片进行光刻时的母板,制作芯片时,先要制作出掩膜,再用光线来照耀掩膜,终究将上面的

  上,刻到晶圆上。但EUV掩膜,可不仅仅是一张膜板这么简略,是一整套体系,包含EUV 薄膜(Pellicle)等组成,其间EUV 薄膜是一种超薄薄膜形状的、需求定时替换的高端消耗品,用来维护掩膜板,十分有技能难度,也是整套EUV掩膜体系中的中心。

  资料,但是日本的强项,所以日本的厂商在EUV 薄膜这方面最强,拿下了全球大部分比例。

  石墨烯EUV薄膜、碳纳米管EUV薄膜等,但至少现在还无法与日本的企业比美。可见,要进入5nm,咱们要补的课还许多,还要霸占许多技能才行,先别欢腾,路得渐渐的一步步走。