中国唯一光刻机巨头从90nm到28nm历时18年垄断80%低端市场

  在芯片的生产制作的完整过程中，光刻机是重中之重，而提及光刻机，就必须提荷兰ASML公司。

  不过，全球并非只有ASML一家光刻机制造公司，日本尼康、佳能也同样不可以小看。而中国也有一家可以制造光刻机的企业——上海微电子，这也是国内唯一的光刻机巨头，垄断中国大陆80%的低端市场。

  虽然上海微电子在2002年才进军光刻机生产研发领域，比1984年着手研发的ASML晚了近20年，但上海微电子的发展速度，和对我国半导体产业的影响却不可以小看，有效改善低端光刻机依赖进口的局面。

  值得注意的是，ASML光刻机虽然技术先进，但一台光刻机却集结了多个国家和企业的智慧，例如来自美国的光学设备、来自德国的蔡司镜头组件等，而其他5万多个零部件也大多依赖进口。但上海微电子却是自主研发和创新。

  并且，经过18年的发展，上海微电子现阶段的技术虽然只有90nm，属于荷兰ASML15年前的水平，但仍然是国内最顶尖的技术。而且，随着上海微电子光刻机技术的成熟，有消息称预计2021年可交付首台国产28nm的沉浸式光刻机。

  尽管上海微电子的28nm技术，与荷兰ASML的7nm甚至5nm光刻机有较大的差距，但作者觉得，上海微电子已经跨越了几代实现技术突破，按照目前的发展速度，上海微电子与ASML之间的差距将被逐渐缩小，国产芯片未来可期。

  另外，根据上海微电子官方数据，目前公司已拥有1442项发明专利，是国内工业4.0、先进制造、人机一体化智能系统的典型代表。根据7月20日消息，工商信息数据显示，张江高科投资上海微电子，慢慢的变成了公司第四大股东。

  有了资本的支持，上海微电子将有充足的资金用于研发和突破更先进的工艺，拉进与ASML之间的距离。除了上海微电子，中国企业华卓精科也取得较大的突破，变成全球上第二家掌握双工件台核心技术的公司。

  预计华卓精科所生产的DWSi系列双工作台产品将在2021年，以6000万/台的价格卖出。在上海微电子、华卓精科、中芯国际等巨头的努力下，中国半导体产业的发展值得期待。

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