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  集成电路工业的繁荣开展为集成电路制作配备带来了巨大的商场空间。据了解，建一条集成电路出产线%用于购买设备。而目前我国已建和在建的8英寸以上集成电路制作厂的中心设备彻底依靠进口。

  面临急速增加的商场，我国集成电路配备制作业从出产规划、研制水平、出资强度以及人才集合等方面都存在着很大距离，没有构成可持续开展的工业规划。

  科技部高新技能开展及工业化司司长冯记春标明，为了改动我国集成电路工业特别是配备等中心技能受制于人的局势，“十五”期间，科技部依照国家严重战略需求，在863方案中设立了“集成电路制作配备”严重专项，要点研制集成电路制作设备的部分中心设备。

  由北京市安排施行的“100nm 8英寸多晶硅刻蚀机和大倾角离子注入机”，短短3年多就完结了产品研制，并在大出产线进行了近一年的查验查核。查核进程彻底依照世界化检验规范。查核测验定论标明，国产刻蚀机与注入机的设备设计参数、硬件性能参数、工艺根本信息参数等设备技能指标到达世界同类130nm-100nm出产设备规范。与国外同种类型的产品比较，我国自主研制的产品营出售卖价格要廉价20%左右。

  冯记春称，这两种设备的技能水平根本与我国集成电路制作业干流技能水平同步。未来2-3年，我国集成电路制作业从180nm向130nm和90nm晋级时有或许运用国产配备，有助于改变我国集成电路制作配备受制于人的局势，对我国集成电路制作配备的自主**才能和中心竞赛力具有极端严重战略意义。

  值得一提的是，“集成电路制作配备”严重专项的研制采用以企业为主体，科研院所和高校一起参加的新式产学研结合形式。北京北方微电子公司和北京中科信公司别离承当刻蚀机和注入机项目。这种“以企业为主体、商场为导向，以完结工业化为方针、产学研相结合”的技能道路明显获得了成效。

  在3年多研制进程中，参加单位仔细剖析世界**，重视知识产权维护，开始构建起自主知识产权维护系统，培养了一支**团队。不仅如此，该专项在集成资源、变革效果查核检验机制和引进第三方监理等方面也做了有利探究。

  此次收购合同由北方微电子公司和中科信公司别离与我国*大的集成电路代工厂中芯世界公司签定。这是国内集成电路设备企业**次成为干流出产厂的供货商，完结了我国集成电路制作配备的严重技能跨过。

  据了解，一条集成电路出产线种设备，仅前道工序的要害设备就有20多种，其间*为要害的中心设备有7种。尽管我国在刻蚀机和注入机两种**中心设备工业化方面获得严重突破，但所触及的面还很有限。

  专家以为，要想真实的完结国产集成电路配备的工业化，有必要进步根底工业的加工、制作和资料等技能水平。没有相应工业链的支撑，集成电路配备的开展将遭到很大约束。

  集成电路配备制作业触及资料、工艺、化学试剂等多个科技领域的*新成果，目前我国在这样一些方面与国外有很大距离。专业的人主张，要想构成国产集成电路配备工业集群，急需加强研制水平。

  国家中长期科技开展规划大纲已确认“十一五”期间施行“集成电路制作配备与成套工艺”严重专项，此次国产集成电路中心设备产品完结批量出售，为该严重专项的施行奠定了根底。

  据预测，到2010年，我国集成电路工业出资累计将到达3500亿元，其间大部分将用于集成电路制作配备。这一趋势使得中国商场正在成为全世界集成电路制作配备业竞赛的焦点。